無塵潔凈室內潔凈度主要因素-塵埃粒子計數器

    無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室規劃中遭到關注的問題，跟著潔凈室污染源的操控作用添加及末級過濾器功率的提高，對有關規范、導則等提出的引薦或參考值是否偏于保存，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞修理等問題已在實踐中得到解決，跟著FFU的不斷改進，對是否選用FFU回風體系也是個熱門：懸浮分子污染(AMC)的操控在微電子及IC工業中已日益說到日程上來，遭到關注。以下對這些問題的狀況分別作概括和剖析。

無塵潔凈室內必定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用處等具體狀況而異，它不只受室內發塵量及過濾器功率還受其他要素影響，就工業潔凈室而言，影響潔凈度及挑選氣流速度的要素主要是：

(1)室內污染源：建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工自身等都是塵粒開釋源，根據具體狀況而異，改變很大;

(2)室內氣流流型及分布：單向流要求均勻、對等的流線，但會遭到工藝設備安置和方位變化及人員活動狀況等的干擾構成部分渦流;而非單向流要求充混合，防止溫度分層。